在顯著提升晶圓良率的同時，生產效率也穩步提高，由上海福賽特智能設備有限公司獨立研發的國內首款LED半導體晶圓倒片機今年量產，長三角G60科創走廊研發成果填補了行業空白。

昨天下午，記者走進上海福賽特智能設備有限公司生產車間，看見數十臺LED半導體晶圓倒片機一字排開，技術人員正在對月底即將交付客戶的設備進行最后的調試。這批設備具有獨立的潔凈空間，“實現了無人化操作，可最大程度提高產品品質和良率，同時保證了產品信息可跟蹤可回溯。”該公司智能設備事業部副總經理劉純君介紹說，這批設備是交付給三安集團的，三安集團作為國內LED晶圓制造業的龍頭企業，對產品品質要求很高。

劉純君告訴記者，此設備用在LED半導體外延工藝段，可實現晶圓從原料倉至PVD（物理氣相沉積）工序之間以及PVD工序到MOCVD（金屬有機物化學氣相沉積）工序之間的周轉。在福賽特推出此設備之前，這種周轉主要通過人工操作完成。人工操作引入的污染會對產品品質產生很大影響，因為人為失誤造成的產品或載具損傷浪費不小。而且，人工操作和周轉中斷了設備信息流和數據流，不利于產品信息追蹤及回溯。福賽特LED半導體晶圓倒片機的推出，解決了行業痛點。據介紹，該設備采用行業領先的潔凈機器人、先進的激光傳感器和CCD，以及自主研發的載盤尋邊器等，配合自主研發的成熟先進的信息化系統，可自動與企業生產的“中樞神經”MES系統實現數據交互，形成“周圍神經系統”，連接各個工藝段中的獨立設備系統，即“神經末梢”，組成閉環的智能信息化系統。同時，可實現晶圓自動上下片、晶圓尋邊、晶圓Wafer ID自動讀取和校對、生產工單的解批和并批等。

“在集成電路半導體行業，晶圓倒片設備多數嵌入核心設備內部，并由國外幾家大公司壟斷，其設備價格高昂，生產效率低下，無法滿足LED半導體行業的體量需求，所以LED半導體行業一直沒有合適的晶圓倒片解決方案。我們通過LED全制程分析，從LED外延段入手，目前第一款設備LED半導體晶圓倒片機已經量產，PSS工藝段的第二款產品PSS自動上片機已經研制成功，目前我們正與國內LED主設備龍頭企業洽談，擬合作研發嵌入式晶圓倒片模塊，支持新一代國產MOCVD和PVD設備的研制。”上海福賽特智能設備有限公司總經理張丹說。

“LED半導體晶圓倒片機中包含的機電設計、控制軟件、智能算法等十多項知識產權，都是由我們公司獨立自主研發的。這套設備的成功研制，實現了我國在半導體行業高端設備領域的重大突破，打破了國外巨頭的長期壟斷，填補了行業空白。”張丹說。